描述
產品規格
| 機型 | DewTracer 迷你 CRDS-H 2 O |
| 測量原理 | CRDS（光腔衰蕩光譜）法 |
| 水分測量範圍 | 12 ppbv 至 20 ppmv（-100 至 -55 °CDP）（在 N2 中，其他氣體單獨出售） |
| 使用環境範圍 | 10~40℃，35~80%rh以下（無凝露） |
| 儲存環境範圍 | -10～40℃、35～85%rh以下（無結露） |
| 回應時間 | 50⇔1000 [ppbv] 變化時 90 [%] 反應時間 60 [秒]（典型值） |
| 樣氣溫度範圍 | 5-60℃以下 |
| 樣品流速 | <2.0 公升/分鐘 |
| 吹掃流量 | <5.0 公升/分鐘 |
| 樣氣類型 | 從空氣、N2、O2、Ar 中選擇 |
| 樣品壓力 | 86 至 106 kPaA（選配高達 900kPaA） |
| 系統精度 | ±4% 或 ±12 ppb，以較大者為準 |
| 測量值 | 體積摩爾分數 [ppmv]
測量部分氣體溫度 [℃] 測量部分氣體壓力 [PaA] |
| 計算值 | 露點/霜點溫度[℃DP] |
| LCD顯示幕（監控部分） | 彩色液晶顯示器（800×480 WVGA）5吋觸控螢幕 |
| 類比輸出（可選） | 4-20毫安 |
| 數位輸出（可選） | RS-232C |
| 警報輸出（可選） | 繼電器接點輸出 |
| 管道 | 樣氣IN-OUT：1/4吋（Fujikin：UJR-RP）
吹掃氣體IN-OUT：1/4吋（Fujikin：UJR-RP） |
| 電源 | 附交流電轉接器（100-240 V，50 / 60 Hz，1.4 Amax） |
| 能量消耗 | 感測器部分：10 W（典型值）
監視器部分：30 W（典型值） |
| 重量 | 感測器部分：約 5 kg（不含 AC 適配器）
監視器部分：約 1.7 kg |
| 尺寸
（單位：毫米） |
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應用實例
● 半導體用高純度氣體的製造、檢驗、填充工序
即使測量微量水分，它也能快速反應，從而提高製程效率。它還減少了昂貴天然氣的消耗，有助於削減成本。
● 全固態電池研究及製造工藝
由於採用非接觸式測量原理，即使混入電池製造過程中產生的腐蝕性氣體，感測器也不會劣化。
● 用於手套箱和乾燥室的管理和控制
近年來，手套箱和乾燥室的露點越來越低，必須保持在 -70°C DP 露點 (2 ppmv) 以下。它非常適合控制-70℃DP以下的溫度，而傳統測量儀器無法精確控制該溫度。
